AS200A008C100CJCC Hassasi Proses Gaz Oranlama için MEMS Termal Gaz Kütle Akış Kontrol Cihazı

AS200A008C100CJCC MEMS, hassas işlem gazı orantılandırması için termal gaz kütle akış kontrolörü

Özellikleri:

• Yüksek hassasiyetli MEMS algılama teknolojisi: Mükemmel doğrusallığı ve tekrarlanabilirliği olan yeni nesil mikro-elektromekanik akış çiplerini benimser.Mekanik titreşim hataları olmadan küçük akış dalgalanmalarını doğru bir şekilde yakalamak, yüksek standart doğruluklu endüstriyel ölçüm gereksinimlerini tam olarak karşılar.
• T/P tazminatı olmadan doğrudan kütle akışı algılama: çevresel sıcaklık ve basınç dalgalanmalarından etkilenmeden gaz kütle akışını doğrudan algılar.istikrarlı ve gerçek zamanlı veri çıkışını sağlamak için hiçbir dış telafi cihazı veya karmaşık algoritma gerektirmeyen.
• Kapalı döngü uyumlu akış kontrolü: Yüksek hızlı kapalı döngü valf kontrol sistemi dinamik olarak gerçek zamanlı olarak akış parametrelerini ayarlar, boru hattı basınç dalgalanmalarını hızla dengeler,ve asgari sabit durum hataları ile sabit akış çıkışı korur.
• Hassas gaz devreleri için ultra düşük basınç kaybı: Optimize edilmiş düz akış kanalı tasarımı boru hattı direncini ve basınç düşüşünü önemli ölçüde azaltır,boru hattı basınç dengesini korumak ve düşük basınçlı ve mikro basınçlı hassas gaz tedarik senaryolarına uyum sağlamak.
• Geniş uyarlanabilirlik ile çift sinyal uyumluluğu: Aynı anda 4?? 20 mA / 1?? 5 V analog sinyalleri ve UART dijital sinyalleri destekliyor, endüstriyel denetleyici, PLC'ler,Tek çipli mikro bilgisayarlar, üst bilgisayarlar ve basit ve hızlı sistem entegrasyonu için IoT platformları.
• Endüstriyel Yüksek Hava Sıkışıklığı ve Ultra Düşük Sızıntı: Sızıntı riskini en aza indirmek için hassaslıklı mühürleme teknolojisini ve korozyona dayanıklı gaz devre malzemelerini benimser.Mikro sızıntılardan kaynaklanan gaz oranı sapmalarının ve süreç anormalliklerinin önlenmesi ve güvenilir üretim ve deneysel verilerin sağlanması.
• Geniş çalışma koşulları ve güçlü müdahale karşıtı performans:Dahili donanım ve yazılım çift filtreleme ve müdahale karşıtı tasarımı endüstriyel elektromanyetik müdahaleye ve sıcaklık/nem değişikliğine dayanır, uzun süreli sürekli çalışma sırasında düşük baz çizgisi sürüklenmesini ve sık kalibrasyon yapılmamasını sağlar.
• Düşük işletme maliyeti ile kompakt entegre yapı: Minyatür ve kompakt yapı boru hattı kurulumu ve gömülü ekipman entegrasyonunu destekler.düşük uzun süreli bakım gereksinimleri olan otomatik üretim hatlarında ve deneysel platformlarda hızlı bir şekilde kullanıma uygun.

Uygulamalar:

• Hassas Süreç Gazı Proportioning: Kimyasal karışık gazların, inert koruyucu gazların ve süreç temizleme gazlarının doğru orantılandırılmasında kullanılır.Gaz karıştırma oranlarının istikrarlı kalması ve ürün kalifikasyon oranlarının iyileştirilmesi.
• Bilimsel Araştırma ve Laboratuvar Gaz Kontrolü: Üniversitelerde ve araştırma enstitülerinde spektral deneyler, katalitik testler, malzeme analizi ve gaz araştırması için kullanılır.Tekrarlanabilir ve doğru deneysel veriler için istikrarlı ve izlenebilir sabit akış koşulları sağlamak.
• Çevre İzleme ve Örnekleme Kontrolü: Örnekleme akışını dengelemek için duman gazı analizatörlerine, çevre izleme mikro istasyonlarına ve atık gaz örnekleme sistemlerine entegre edilmiştir.Akış dalgalanmasından kaynaklanan algılama hatalarını ortadan kaldırmak ve çevresel uyum standartlarına uymak.
• Yeni Enerji Precizyon Üretimi: Lityum pilde boşluk temizliği, süreç gazı kaynağı ve atmosfer kontrolü için uygundur.Yüksek tutarlı endüstriyel üretimi desteklemek için fotovoltaik ve yarı iletken hassas üretim süreçleri.
• Otomatik ekipman gaz devre eşleşmesi: hassas kaynak, püskürtme,Otomatik kapalı döngü gaz akışı yönetimini gerçekleştirmek ve ekipman istihbaratını iyileştirmek için test aletleri ve deneysel ekipman.
• Sensör Kalibrasyonu ve Yaşlanma Testleri: Gaz sensörlerinin ve algılama aletlerinin kalibrasyonu, doğrulanması ve yaşlanma testleri için standart bir akış gazı kaynağı cihazı olarak hizmet eder.Fabrika doğruluğunu garanti etmek için istikrarlı standart akış ortamı sağlamak.