AGP4000 MEMS Yüksek hassasiyetli Dijital Ekran Soğuk Katot Kompozit Vakum Ölçüsü Pirani Vakum Ölçüsü

                    AGP4000 MEMS Yüksek Hassasiyetli Dijital Ekranlı Soğuk Katot Kompozit Vakum Ölçer Pirani Vakum Ölçer

Kullanım Alanları:

• Yarı İletken Üretimi: Yarı iletken kaplama gibi yarı iletken üretim süreçlerindeki vakum ortamının hassas bir şekilde izlenmesi için kullanılır. Yarı iletken ürünlerin kalitesi ve performansı için doğru vakum derecesi kontrolü çok önemlidir ve AGP4000, sürecin istikrarını sağlamak için güvenilir vakum verileri sağlayabilir.
• Havacılık ve Uzay Alanı: Havacılık ve uzay bileşenlerinin test edilmesi ve diğer senaryolarda, bileşenlerin performansını test etmek için farklı vakum ortamlarını simüle etmek gerekir. AGP4000, düşük vakumdan yüksek vakuma kadar tam aralıklı izleme sağlayarak, havacılık ve uzay araştırmaları ve testleri için önemli veri desteği sağlar.
• Hassas Bilimsel Araştırma: Yüksek hassasiyetli vakum ortamı kontrolü gerektiren bazı fiziksel ve kimyasal deneyler gibi hassas bilimsel araştırmalarda, AGP4000, araştırmacıların vakum derecesi bilgilerini doğru bir şekilde elde etmelerine yardımcı olarak, deneysel sonuçların doğruluğunu ve tekrarlanabilirliğini sağlar.
• Vakum Fırını Uygulamaları: Vakum fırınları için, farklı proses aşamalarında farklı vakum dereceleri gereklidir. AGP4000, fırındaki vakum derecesini gerçek zamanlı olarak izleyebilir ve vakum derecesini ayarlamak için kontrol sistemi ile işbirliği yaparak, malzemelerin ısıl işlem kalitesini ve fırının hizmet ömrünü sağlar.

Özellikler:

• Geniş Aralıklı ve Yüksek Hassasiyetli Ölçüm: Düşük vakumdan yüksek vakuma (1×10⁻⁶Pa ~ 1×10⁵Pa) kadar tam aralıklı hassas izleme sağlayabilir, 6 mertebeden geniş bir aralığı kapsar, ≤±%5 tekrarlanabilirlik hatasına sahiptir ve mükemmel uzun süreli kararlılık sunarak, temel süreçler için güvenilir bir veri temeli sağlar.
• Çift Teknolojili Akıllı İşbirliği: Pirani sistemi tüm süreç boyunca çalışır ve vakum derecesi < 10 Pa olduğunda, soğuk katot sistemi manuel müdahale olmadan otomatik olarak başlatılır, bu da geleneksel ekipmanların aralık sınırlaması sorununu tamamen çözer.
• Güçlü ve Dayanıklı: Soğuk katot tasarımı, ısıtma filamenti gerektirmez, bu da güçlü kirlenme önleme yeteneğine sahiptir, hizmet ömrünü büyük ölçüde uzatır ve bakım maliyetini düşürür.
• Gerçek Renkli Görselleştirme: Gerçek zamanlı olarak basınç değerini dinamik olarak görüntüleyebilen, üç birim (Pa/Torr/mbar) arasında tek tuşla geçiş yapabilen ve ayrıca sıcaklık, iletişim durumu ve yüksek voltaj açma/kapama işaretlerini (kırmızı/mavi iki renkli uyarı) görüntüleyebilen yüksek çözünürlüklü bir TFT-LCD renkli ekran ile donatılmıştır, böylece veriler bir bakışta netleşir.
• Çift Modlu Çıkış: PLC'ler ve kaydediciler gibi endüstriyel ekipmanlara doğrudan bağlanabilen 0~10V doğrusal analog sinyale sahiptir ve logaritmik dönüşüm formüllerini destekleyerek sisteme uyum sağlamayı kolaylaştırır. Aynı zamanda, RJ45 arayüzü aracılığıyla RS485 iletişimi gerçekleştiren, çoklu cihaz ağını destekleyen ve ana akım endüstriyel kontrol sistemleriyle uyumlu, akıllı bir vakum izleme ağı oluşturmaya yardımcı olan standart bir Modbus RTU protokolüne sahiptir.
• Kolay Kurulum ve Güvenilir Çalışma: Mükemmel hava sızdırmazlığına sahip ve herhangi bir yönde (dikey kurulum önerilir) kurulumu destekleyen, standart olarak bir KF25 paslanmaz çelik elektro-parlatılmış flanş ile donatılmıştır. Geniş voltajlı bir güç kaynağına (15~30V DC) ve ≤6W güç tüketimine sahiptir, bu da zorlu endüstriyel ortamlara uyum sağlayabilir.
• Akıllı Kalibrasyon ve Kolay Kullanım: Üç seviyeli menü tabanlı bir arayüz tasarımına sahiptir, Çince ve İngilizce geçişini destekler, yerinde iletişim parametrelerini ve birimlerini ayarlayabilir, 0.1Pa/atmosfer basıncı kalibrasyonu gerçekleştirebilir ve hatta fabrika ayarlarını tek tuşla geri yükleyebilir, bu da işletme ve bakım eşiğini büyük ölçüde azaltır.