|
Ürün ayrıntıları:
|
| Tam Ölçek: | 100 SCCM | Güç kaynağı: | +15 ila +28 VDC (tek besleme) |
|---|---|---|---|
| Sinyal: | 0–5V analog; RS485 dijital iletişimi destekler | Kesinlik: | ±%1 FS; Tekrarlanabilirlik: ±%0,2 FS |
| Vurgulamak: | Yarım iletken üretimi için gaz kütle akış kontrolörü,garantili tıbbi hava akış sensörü,AS200A008C100CJCC Akış Denetleyici |
||
AS200A008C100CJCC Yarım iletken üretim sürecinde gaz kütle akış kontrolörü kullanımı
Tipik Uygulamalar
Yarım iletken işleme, CVD, gaz dağıtım sistemleri, laboratuvar gaz kontrolü, analitik aletler vb.
Spesifikasyon:
| Sızıntı oranı | 1×10−10 Pa·m3/s (He) |
| Basınç direnci | 3 MPa |
| AS200 Ürün Serisi | MEMS Gaz Kütle Akış Kontrolörü |
| A (Mürettebat Türü) | A = Kauçuk mühür; Sinyal: 0V5V analog giriş/çıkış |
| 008 (gaz kodu) | 008 belirtilen gazla eşleşir. |
| C (Aranç Birimi) | C = SCCM (dakikada standart santimetre küp) |
| 100 (Tam ölçek) | 100 SCCM |
| CJCC | Arayüz, valf türü, elektrik ve montaj kombinasyonu için arkaplan |
![]()
İlgili kişi: Xu
Tel: 86+13352990255