YJJ AS200A008C100CJCC Gaz Kütle Akış Kontrol Cihazı MFC - Yüksek Hassasiyetli Gaz Akış Ölçer

Ürün Açıklaması:

YJJ AS200A008C100CJCC Gaz Kütle Akış Kontrol Cihazı MFC - Yüksek Hassasiyetli Gaz Akış Ölçer

Özellikler:

AS200 Serisi Gaz Kütle Akış Kontrol Cihazı

Güçlü, ücretsiz, istemci tabanlı üst bilgisayar yazılımı sağlar

AS200 serisi gaz kütle akış kontrol cihazı, çeşitli geleneksel gazlar için uygundur, gaz kütle akış kontrolü ölçüm sonuçlarının doğruluğunu ve güvenilirliğini artırır. Tekrarlanabilirlik doğruluğu %0,2 FS'ye kadar çıkabilir;

1x10-0 Pa·m3/sn He düşük kaçak oranı, iyi hava geçirmezliği, üretim güvenliğini sağlar; Dijital sinyaller, 1-5V analog sinyaller ve 4-20mA analog sinyaller dahil olmak üzere birden fazla sinyal çıkışını destekleyebilir, bu da tek bir güç kaynağı (+15~+28VDC) kullanabilir, farklı çalışma senaryolarına uygundur; Standart açık iletişim protokolü, müşterilerin kontrol ve toplama yazılımlarını bağımsız olarak geliştirmeleri için kolaylık sağlar; Aynı zamanda, ürün kullanıcı hata ayıklama ve operasyonunu kolaylaştıran güçlü, ücretsiz, istemci tabanlı üst bilgisayar yazılımı da sunmaktadır.

AS200 serisi ürünler, Aosong Electronics tarafından gelişmiş MEMS teknolojisi kullanılarak geliştirilmiştir. Sensör sürücüsü, sıfır sürüklenme kontrolü ve valf kontrolü gibi birçok yönde, ürünlerin yüksek performansını, yüksek kalitesini ve yüksek güvenilirliğini sağlamak için çekirdek teknolojiler benimsenmiştir. İyi stabiliteye, yüksek hassasiyete, düşük kaçak oranına ve yüksek basınca dayanıklılığa sahip yüksek kaliteli bir cihazdır.

AS200 serisi gaz kütle akış kontrol cihazı (MFC) esas olarak gaz kütle akışının hassas kontrolü ve ölçümü için kullanılır. AS200, yarı iletken entegre devre teknolojisi, özel malzemeler, kimya endüstrisi, petrol endüstrisi, tıp, çevre koruma ve vakum gibi çeşitli alanlarda araştırma ve üretimde önemli bir rol oynamaktadır. Tipik uygulama senaryoları şunları içerir: epitaksi, difüzyon, plazma aşındırma, sputtering, iyon implantasyonu ve çeşitli CVD ekipmanları gibi entegre devre işlem ekipmanları; optik fiber eritme, mikro reaksiyon cihazları, gaz karışımı ve gaz dağıtım sistemleri, gaz numune alma cihazları, kapiler ölçüm cihazları, gaz kromatografları ve diğer analitik cihazlar gibi diğer endüstriyel ekipmanlar.

Gaz kütle akış kontrol cihazı

Güç kaynağı: 15 - 24V DC (tek kutuplu)

Ölçüm aralığı: 1 - 100, 2 - 20 3~300SCCM/dakika

0,03 - 3, 0,05 - 5, 0,1 - 10, 0,2 - 20,

0,3 - 30, 0,5 - 50 SLM/dakika

Tekrarlanabilirlik doğruluğu: Tam Ölçeğin ±%0,2'si

Tepki süresi: 1 saniye

Çalışma ortamı: 5 - 45℃

Boyut: 112,8 * 38 * 115 mm

Özellikler: