YJJ MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-D-A MEMS Termal Gaz Kütle Akışölçörü 0.5-50 SLPM 1.5MPa

Ürün Tanımı:

YJJ MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-D-A MEMS Isı gazı kütle akış ölçer 0.5 - 50 SLPM 1.5MPa

Özellikleri:

I. Modelin parçalanması (her pozisyonun ayrıntılı anlamları)

MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-D-A

MF5006: Serisi, DN6 (İç çapı 6 mm, 1/4" arayüzü)

N2: Standart gaz = Azot (N2)

M: MEMS termal kütle akışı prensibi

E: Alüminyum alaşımlı kabuk

0.5: Asgari Aralık 0,5 SLPM (20°C / 1 atm'de Dakikada Standart Litre)

50: En fazla menzil 50 SLPM

15: Maksimum çalışma basıncı 1,5 MPa

AB: Çıkış = 4-20mA + RS485 (Modbus-RTU)

D: LCD Ekranla (Anlık + Toplu Akış)

A: Standart yapılandırma (özel özelleştirme yok)

II. Çekirdek parametreleri (MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-D-A)

1. Ölçüm Performansı

Ölçülen ortam: N2, Hava, O2, Ar, CO2, vb. Kuru, Temiz, Yağsız, Kondensasyon Gazı Yok

Çap / Arayüz: DN6, 1/4 "İç iplik (G1/4 veya NPT1/4)

Aralık (N2, 20°C / 1 atm): 0,5 ̊50 SLPM (Standard Litre / Dakika)

Kesinlik: ± 1.5% okuma + 0.2% FS)

Tekrarlanabilirlik: ≤ ± 0,5% FS

Aralık oranı: 100: 1 (geniş aralık, düşük akış hassasiyeti)

Yanıt süresi: ≤100 ms (Hızlı bir şekilde akış değişikliklerini takip etmek)

Başlangıç akışı: 8 mm/s'ye kadar düşük (Çok küçük akış ölçülebilir)

2Elektrik ve Çıkış

Güç kaynağı: 1224 VDC ±10%, Güç tüketimi < 2W

Analog Çıkış: 4×20mA (0×50 SLPM'ye karşılık gelir)

İletişim: RS485 (Modbus-RTU), Ağlanabilir Uzaktan İzleme

Ekran: LCD Ekran, Anlık Akış Ekranları (SLPM) + Toplu Akış

3Mekanik ve Çevre

Kabuk malzemesi: Alüminyum alaşımı (E tipi), hafif, korozyona dayanıklı

İletişim malzemesi: 316L paslanmaz çelik

Çalışma basıncı: ≤1,5 MPa (15bar)

Çalışma sıcaklığı: -20°C - +60°C

Nemlilik: 0~95% RH (Kondansiyon yok)

Koruma derecesi: IP40 (tozuma dayanıklı, iç mekan / genel endüstriyel ortam)

Kurulum: İsteğe bağlı olarak yatay / dikey kurulum, düz boru bölümü gerekmez (MEMS termalinin avantajı)

4Temel Özellikler

MEMS Termal: Kütle akışının doğrudan ölçümü, sıcaklık / basınç tazminatı yok, doğrulukSıcaklık / basınç dalgalanmaları etkisi

Ultra Düşük Farklı Basınç: Düşük Basınçlı / Küçük Akış Sistemleri için Uygun Minimal Basınç Kaybı

Yüksek istikrar: Sıfır Noktası Sürüklenmesi Küçük, Uzun Süre Bakımsız

III. Ana Uygulamalar (Küçük Bor, Düşük Akış Gazlarının Kesin Ölçümü)

1Yarım iletken / Elektronik (Ana Senaryo)

Yüksek Saflıklı Azot (N2), Oksijen (O2), Argon (Ar), Süreç Gazı oranı ve Akış İzleme

Wafer işleme, difüzyon, kazma, depolama ekipmanlarında küçük akış gazı hassas kontrolü

2Tıbbi / Farmasötik

Hastane Oksijen / Nitrojen Teslim Etme Akışının İzlenmesi (Nefes Alıcılar, Anestezi Makineleri)

Farmasötik Steril Gaz, Koruyucu Gaz (N2/Ar) Tam Ölçüm

3Laboratuvar / Araştırma

Küçük akış oranı, karıştırma, deneysel gazların reaksiyon gazı izleme (N2/O2/Ar/CO2)

Kataliz, yanma, çevresel örnekleme vb. için düşük akışlı gaz ölçümü

4Endüstriyel Otomasyon

Saldırma koruyucu gazının (Ar/CO2) küçük akışlı sabit kontrolü

Kesin işleme akış izleme, denetim ekipmanı patlama / koruma gazı

Sıkıştırılmış hava / ekipman son enerji tüketiminin küçük dalı ölçümü

5Çevre / Yeni Enerji

Düşük konsantrasyonlu egzoz gazı, iz gazı küçük akış örnekleme izleme

Hidrojen yakıt hücreleri için düşük konsantrasyonlu hidrojen gazı ölçümü

Özellikler: