YJJ AS200 Paslanmaz çelik MFC Yüksek hassasiyetli gaz kütle akış kontrolörü Hava Mikro-gaz akış ölçer

Ürün Açıklaması:

YJJ AS200 Paslanmaz Çelik MFC Yüksek Hassasiyetli Gaz Kütle Akış Kontrol Cihazı Hava Mikro-Gaz Akış Ölçer

Özellikler:

AS200 Serisi Gaz Kütle Akış Kontrol Cihazı

Güçlü, ücretsiz istemci tabanlı üst bilgisayar yazılımı sağlar

AS200 serisi gaz kütle akış kontrol cihazı, çeşitli geleneksel gazlar için uygundur ve gaz kütle akış kontrol ölçüm sonuçlarının doğruluğunu ve güvenilirliğini artırır. Tekrarlanabilirlik doğruluğu %0,2 F.S.'ye kadardır;

1x10-0 Pa·m3/sn He'nin düşük sızıntı oranı, iyi hava geçirmezlik, üretim güvenliğini sağlar; Dijital sinyaller, 1-5V analog sinyaller ve 4-20mA analog sinyaller dahil olmak üzere çoklu sinyal çıkışlarını destekleyebilir, farklı çalışma senaryoları için uygun olan tek bir güç kaynağı (+15~+28VDC) kullanabilir; Standart açık iletişim protokolü, müşterilerin kontrol ve toplama yazılımlarını bağımsız olarak geliştirmeleri için kolaylık sağlar; Aynı zamanda, ürün, kullanıcı hata ayıklama ve operasyonunu kolaylaştıran güçlü, ücretsiz istemci tabanlı üst bilgisayar yazılımı da sağlar.

AS200 serisi ürünler, Aosong Electronics tarafından gelişmiş MEMS teknolojisi kullanılarak geliştirilmiştir. Sensör sürücüsü, sıfır kayma kontrolü ve valf kontrolü gibi birçok açıdan, ürünlerin yüksek performansını, yüksek kalitesini ve yüksek güvenilirliğini sağlamak için temel teknolojiler benimsenmiştir. İyi kararlılığa, yüksek hassasiyete, düşük sızıntı oranına ve yüksek basınca dayanıklı yüksek kaliteli bir cihazdır.

AS200 serisi gaz kütle akış kontrol cihazı (MFC), esas olarak gaz kütle akışının hassas kontrolü ve ölçümü için kullanılır. AS200, yarı iletken entegre devre teknolojisi, özel malzemeler, kimya endüstrisi, petrol endüstrisi, tıp, çevre koruma ve vakum gibi çeşitli alanlarda araştırma ve üretimde önemli bir rol oynar. Tipik uygulama senaryoları şunlardır: epitaksi, difüzyon, plazma aşındırma, püskürtme, iyon implantasyonu ve çeşitli CVD ekipmanları gibi entegre devre proses ekipmanları; optik fiber eritme, mikro reaksiyon cihazları, gaz karışımı ve gaz dağıtım sistemleri, gaz örnekleme cihazları, kılcal ölçüm cihazları, gaz kromatografları ve diğer analitik cihazlar gibi diğer endüstriyel ekipmanlar.

Gaz kütle akış kontrol cihazı

Güç kaynağı: 15 - 24V DC (tek kutuplu)

Ölçüm aralığı: 1 - 100, 2 - 20 3~300SCCM/dak

0.03 - 3, 0.05 - 5, 0.1 - 10, 0.2 - 20,

0.3 - 30, 0.5 - 50 SLM/dak

Tekrarlanabilirlik doğruluğu: ±0,2% Tam Ölçek

Tepki süresi: 1 saniye

Çalışma ortamı: 5 - 45℃

Boyut: 112,8 * 38 * 115 mm

Özellikler: