Ürün ayrıntıları:
|
Akış/basınç aralığı: | ±1000 sccm (1 SLPM) | Tüm sıcaklık aralığında sıfır: | ±0,20 mV dc |
---|---|---|---|
tekrarlanabilirlik: | ±%0,50 okuma | Tepki Süresi: | Tipik değer 1 ms |
Vurgulamak: | Mikro Köprü Gaz Kütle Akış Ölçer,AWM42300V Gaz Kütle Akış Ölçer,Mikro Köprü Termal Kütle Akış Sensörü |
±1000sccm Mikro Köprü Gaz Kütle Akış Ölçer Sensörü AWM42300V
±1000sccm Mikro Köprü Gaz Kütle Akış Sensörü AWM42300V
Özellikler:
Microbridge gaz kütle akış sensörü, ince bir silikon nitrür filmiyle sarılmış termal direnci kullanır.Bu dirençler askıya alınır ve silikon levhanın dağlama boşluğu üzerinde iki Köprü oluşturur.Çip, tekrarlanabilir akış tepkisi sağlamak için en iyi özellikli hava akışı kanalına yerleştirilmiştir.Akış algılama köprüsünün altındaki boşluğu aşındırarak, ısıtıcı ve algılama direnci verimli termal izolasyon sağlar.Mikro köprü gaz kütle akış sensörünün küçük boyutu ve termal izolasyon işlevi, hava akışına hızlı yanıt ve yüksek hassasiyet sağlar.
Wheatstone ikiz köprü kontrollü hava akışı ölçümü - biri kapalı devre ısıtıcı kontrolü sağlar, diğeri çift algılama elemanları içerir.Isıtıcı devresi, kütle akış hızıyla orantılı bir çıkış sağlayarak ortam sıcaklığındaki değişimden kaynaklanan çıkış değişimini azaltır.Bu devre, ısıtıcının sıcaklığını, çip üzerindeki termal dirençle ölçülen ortam sıcaklığının (160 °C) üzerinde sabit bir sıcaklık farkında tutar.Cihazın çıkışı besleme gerilimi ile orantılıdır ve Wheatstone köprü devresinin diferansiyel gerilimine de karşılık gelir.
Sözellikler:
Arayüz türü | manifold |
Güç tüketimi | 60 mW |
Orta uyumluluk | Sadece kuru gaz |
Telafi sıcaklık aralığı | -25°C ila 85°C [-13°F ila 185°F] |
İlgili kişi: Xu
Tel: 86+13352990255